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华为已申请光刻设备和光刻系统专利，四年前已开始部署光刻机

删除29字节, 2020年7月25日 (六) 22:05

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光刻机设备的某种专利

~~主要专利内容如下图~~

主要意思就是为了提高光刻的精确度

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取自“http://ty.sseuu.com/index.php?title=特殊:移动版差异/90598”