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低成本DIY纳米级光刻机！这位95后男生火了
好消息，国产光刻机研发成功，国产“芯”的即将到来
国产光刻机崛起！中科院开发新型5nm超高精度激光光刻加工方法
国产光刻机看到了希望，光刻机隐形巨头，将从90纳米跨越到28纳米